男，博士生导师。1944年生，1968年毕业于清华大学精密仪器系；1978年入中国科技大学精密仪器系。

1989.1－1991.8在西班牙马德里自治大学凝聚态材料系STM实验室访问学者；

1993.10－1994.1东京大学生产科学研究所访问学者。

1995.5－1995.8在西班牙马德里自治大学STM实验室访问学者。

1995、1996年赴日本、西班牙短期合作研究，现担任中日大学群合作计划先进制造工程领域中方负责人(1992-2002)。兼任中国仪器仪表学会精密机械分会副理事长、中国计量测试学会高级会员、安徽省计量测试学会理事长。近十年来主要从事SPM仪器及微纳米技术领域的研究工作。组建了中国科技大学SPM实验室，研制了STM,AFM, SNOM等仪器，并完成了“超光滑表面微观形貌测试与加工新方法”（1993－1994）,“表面活性粘接与机理”（1996－1998）两项自然科学基金, 主持国家自然科学基金面上项目（双光子激光三维微加工工艺及加工机理研究：50275140）重点项目（飞秒激光功能微部件加工技术研究：50335050），教育部博士点基金和中国－西班牙合作研究等项目。在国内外发表论文100余篇，获专利4项。担任《光学精密工程》、《纳米技术与精密工程》杂志编委。