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词条 不均匀
释义

光纤材料的折射率不均匀造成的损耗。

在工艺里面,对于刻蚀工艺,均匀性是衡量刻蚀工艺在整个晶片上,或整个一批,或批与批之间刻蚀能力的参数。对于镀膜工艺,均匀性是用来衡量镀膜的膜厚是否一致的参数。NU%=(Emax—Emin)/Eave

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更新时间:2025/3/19 16:38:58