国家光刻设备工程技术研究中心依托上海微电子装备有限公司建设。

国家光刻设备工程技术研究中心以高端光刻设备的总体设计技术、集成技术和关键单元技术为主攻目标，紧密结合产业化提供技术支持和工程服务，发展我国光刻机技术，促进产业化，保证光刻机重大专项的实施。