| 词条 | 硅微机械加工技术 |
| 释义 | 图书信息书 名: 硅微机械加工技术 作 者：埃尔温斯波克 译者:胡真 出版社： 化学工业出版社 出版时间： 2007年05月 ISBN: 9787502592585 开本： 16开 定价: 58.00 元 内容简介英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；（2）硅的表面微机械加工技术；（3）LIGA工艺；（4）硅——硅直接键合工艺；（5）硅的干法腐蚀工艺及物理机制等，涵盖了微机械系统加工工艺中的主要内容，而且其内容经过多次修订，并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚，具有一定参考价值，适合MEMS领域工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用。 图书目录1 简介 2 各向异性湿去腐蚀 3 湿法化学腐蚀的化学物理机制 4 硅片键合 5 实例和应用 6 表面微机械加工 …… |
| 随便看 |
百科全书收录4421916条中文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。