光学平板的两面都被精密抛光，它通常作为分光镜或窗口等透过型元件，或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面。 一般分为三种材料类型的光学平板：BK7,SFS 和准分子激光用 SFS。其中大部分产品有各种指标的组合：形状（圆形或方形），面精度（λ，λ/4，λ/10，λ/20），多种厚度和平行度。

BK7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外，SFS的温度稳定性，耐热性都很好。准分子激光用SFS，用于高功率的准分子激光 KrF（248nm）时，具有低萤光特性。

去除抛光面的次表面缺陷（微小裂纹），对于改善膜的质量，提高耐高功率激光的稳定性很重要。尽可能地控制磨料，温度和研磨过程，减少次表面缺陷。