油扩散泵是一种蒸气射流泵，其工作原理是把工作介质（扩散泵油）的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。其工作极限真空度在10-2～10-5 Pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2～10-4 Pa范围内。