高纯气体系统用质量流量计（Usedin High Purity Gas System Mass Flowmeter）

气体工业名词，是一种通过毛细管的热交换原理来测量各种气体质量流量的仪表。其原理是在传感器部分的毛细管处绕上两个电阻，形成电桥，当气体在有传感器的管子内流动时，此电桥回路可得到与流量成正比例的输出信号。在半导体的淀积和扩散工艺中，利用质量流量计可以准确控制流量，从而可实现高精度的淀积和精确控制扩散深度。