高纯气体系统用陶瓷过滤器(Usedin High Purity Gas System Ceramic Filters)

　气体工业名词，由多孔陶瓷所制成的深度过滤器，气体通过弯曲的孔径时，靠拦截，惯性和扩散三种效应来捕捉粒子。其特点是容尘量大，阻力小，耐腐蚀，耐高温，不吸附水，二氧化碳，氧和其它气体，不脱气。典型的陶瓷过滤器对0101Lm粒子的过滤效率可达9919999%。过滤器在包装之前应烘干，同时用纯氮气吹扫，然后在100级洁净室内用双层袋密封包装。最高工作压力17MPa，最高工作温度160℃，最高烘干温度200℃，最大压差10MPa，气流速度50～900Lmin。