高纯气体系统用膜过滤器(Usedin High Purity Gas System Membrane Filters)

气体工业名词，由金属孔板，丝网编织物或高分子材料制成膜的过滤器。它利用滤膜孔的拦截效应将大于滤膜孔径的粒子拦截在膜的表面上。过滤效率高，可除掉0101Lm的尘埃和金属粒子。可用作半导体气体分配系统的终端过滤装置。典型装置的最高工作压力为5MPa(37℃)，最高工作温度120℃，气流速度34Lmin(21℃)，压力差410kPa。其包装应在100级洁净室内进行，以双层袋包装。内袋用纯氮气吹洗干净。整体进行氦漏试验，氦漏率应为1027atmmLs。