多晶硅企业在还原三氯氢硅过程中会产生大量氯硅烷尾气，成分和结构复杂，主要是四氯化硅和三氯氢硅，其次还有二氯二氢硅等多种硅烷形式，分离和精馏比较困难，转化率也非常低。目前技术路线比较可行且又比较经济的办法就是通过焚烧高温水解或低温水解氯硅烷气体，产生25%以上的盐酸和二氧化硅，然后解析盐酸回收氯化氢到系统中再利用或将盐酸出售。副产的二氧化硅含杂质较多，运输不便，不具备商品价值，无法出售；直接排放环保部门不允许，找地方填埋代价又太大同时又会改变土壤的酸碱度、污染地下水。所以必须进行处理。