多晶硅还原炉钟罩自动清洗烘干系统Bell jar cleaning system

适用范围

西门子法多晶硅还原炉钟罩（炉筒）内壁的全自动清洗和烘干。

工作原理

以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水（去离子水或叫脱盐水）漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。

用经过三级净化（10万级）的纯净空气，梯级加热，最终保证烘干完的钟罩不再结露，可直接进入生产作业。

系统特点

1)PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。

2)可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。

3)节能、环保、安全：提供了预热（余热蒸汽、余热水或油）加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统，基本消除了对现场及操作人员的污染。

工作流程

还原炉钟罩到位—预清洗—清洗剂（碱液）清洗—漂洗—高纯水冲洗—净化热空气干燥—常温干燥—钟罩吊走。

注：清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响。

基础条件

1)电源：380V/50Hz，30KW，电缆引至控制柜。

2)蒸汽：压力0.175-0.9Mpa（G），到指定接口点。

3)压缩空气：不小于流量3NM3/h，压力0.6-0.75Mpa（G）（气动阀、气缸用气）, 指定接口点。

4)脱盐水：可提供条件，不小于100L/min，到指定接口点。

5)纯水：不小于 100L/min，到指定接点。

6)清洗剂：NaOH清洗液等，不小于2立方米。

7)占地面积：36-80平方米（宽约6-7米，长6-12米

8)三废处理：洗涤后的含酸或碱液废水、废渣，排放到需方指定处，由需方自行处理，配排污水（池、槽）沟；清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。

设备组成

1)高压热水清洗动力装置1套

由高压热水清洗机及附件（1套），高压水自驱动三维洗罐器（1套），三维洗罐器升降装置（气动，1套）组成。

2)热风净化烘干机组1套

进风净化等级：10万级。

3)清洗烘干工作台及管道1套

4)电气控制系统1套。

采用PLC+触摸屏全自动控制，全套德高洁版控制软件。

注：水和风的加热方式：电加热，蒸汽、余热水或油的热交换器换热。

布置方案 1)一楼布置典型方案。全部设备在1楼清洗间，不防爆。室外取风、室外排风。

2)一、二楼布置

典型方案。清洗烘干主设备、主控制柜，在1楼设备间，不防爆；工作台及远程控制箱在2楼工作场地。防爆。

3)一、二、三、楼布置，主机一拖二方案。