概述
技术参数
超精密数控铣床主要用于加工各类超大型平面镜，主轴转动范围±15℃，可用于加工大曲率的柱面镜。
X，Y，Z三轴联动 工作台行程：X-75mm，Y-75mm，Z-75mm；
工作台位置精度：±0.5μm/75mm；
重复定位精度：±0.25μm；
主轴转速：160，000RPM；
主轴回转精度： 1μm；
主轴功率：28W
显微视觉系统放大倍数：200倍；
导轨直线度：0.1μm/50mm
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