超纯水处理设备，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。

超纯水处理设备又称超纯水机，超纯水设备，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。