所谓半导体微腔是指具有高品质因子Q,而尺寸与谐振光波长相比拟的光学微腔谐振器,它在具有极低闭值的垂直腔面发射激光器(vCSEL)和垂直腔面发光二极管(VCLED)等光电子器件方面具有重要应用
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