基本信息
内容简介
作 者：本社 编
出 版 社：凤凰出版社
出版时间：2010-1-1
版 次：1页 数：5字 数：11000印刷时间：2010-1-1开 本：大16开纸 张：胶版纸印 次：1I S B N：19554包 装：平装
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
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