定义

原理

应用

定义

LPP（laser-produced plasma）光源，全称为激光等离子体光源，一般特指液体微滴喷射靶激光等离子体光源，是一种具有较高的软X射线转换效率且能够长期连续运行的低碎屑光源。在极紫外光刻及辐射计量等领域有着重要应用价值和广阔的发展前景。

原理

二氧化碳激光脉冲经过放大、整形并对焦后，进入激光激发等离子型真空室。激光脉冲非常精准地击射在由液态锡滴产生器所产生的液态锡滴上。具有高度激发物质的等离子前导波在二氧化碳激光脉冲与液态锡滴作用的区域辐射出13.5nm光子超紫外线。专为13.5nm波长所设计的多层镀膜反射镜集光器收集背向辐射光源，并将光源导向位于光源输出端的中间焦点位置，以做为扫描式光刻机曝光光源。

应用

虽然32nm，22/20nm节点上已经基于193nm液浸式光刻系统的双重成像（double patterning）技术。但是走向更小节点时，EUV仍是业者关注的焦点。光源是光刻机上最重要的组成部分之一，光源的能量、稳定性、寿命等在某种程度上影响着光刻技术的发展，光源的质量更是举足轻重的，所以很多大厂家都把EUV光刻的期望寄托在LPP光源上。