远紫外线又称C波或杀菌紫外线。波长200-280nm的紫外辐射，主要用于消毒灭菌。其中以253-257nm波长紫外线杀菌效果最好。低压汞灯的辐射峰值波长为253.7nm，是理想的杀菌灯。因为细菌体的核蛋白和脱氧核糖酸（DNA）的吸收光谱峰值也在254nm左右，当细菌吸收了200-300nm的紫外线能量以后，引起DNA分子间的交联破裂，使细菌的核蛋白和核算之间的链断裂，造成细菌的死亡。短波紫外线在有色液体中的穿透力很弱，杀菌作用只发生在表层，所以远紫外线主要用于空气、水和物体表面的灭菌。在蒸馏水中，紫外线杀死90%细菌的有效穿透深度是3m，而在一般饮用水中则减少到0.12m，在葡萄酒、糖汁、果汁中有效穿透深度只有2.5mm。