1949年8月1日山西省恢复建制，同时设阳泉专区。阳泉专区辖榆次、平定、寿阳、祁县、太谷、介休、平遥、昔阳、和顺、辽县、榆社、盂县、灵石共13个县及阳泉工矿区。同年8月20日，山西省委报华北局、华北人民政府同意，阳泉专区改名为榆次专区。

改名之后的榆次专区，专署驻榆次县。辖榆次、平定、盂县、寿阳、祁县、太谷、介休、灵石、平遥、昔阳、和顺、左权（原辽县）、榆社等13县及阳泉工矿区。1951年原阳泉工矿区改设阳泉市，由省直辖。原汾阳专区所属孝义、汾阳、文水、交城、清源、徐沟等6县划入榆次专区。辖19县。1952年将清源、徐沟2县合并设清徐县（驻清源县城）。原兴县专区所属方山、离石、临县、中阳等4县划入榆次专区。方山县迁驻圪洞。榆次专区辖22县。1954年将榆次县城关区改设榆次市，由省直辖。离石、方山2县合并，改名为离山县（驻原离石县城）。榆次专区辖21县。1958年榆次专区改为晋中专区。