基本信息

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基本信息

作者:董永贵

出版社:清华大学出版社ISBN:9787302153337

页码:428

版次:1

装帧:平装

出版时间:2007-7-1

字　数:568000

内容简介

针对微传感器技术发展速度快，一些理论、方法及实现技术尚未成熟的特点，本书紧密结合微传感器的最新发展动态，对热、辐射、机械、磁、化学量微传感器的基本理论及实现技术进行分类阐述，同时介绍了微传感器系统及其数据获取与处理方面的知识，旨在为读者提供一本微传感器方面的入门读物。本书帮助读者在掌握微传感器基础知识的基础上，建立微传感器设计、研究、制作及实验分析等方面的基本概念。当遇到具体的微传感器问题时，能查到专业文献，能读懂文献内容，能自行设计实验，能对实验结果进行分析总结。

本书所涉及的微传感器，是指那些至少有一个物理尺寸在亚毫米量级的传感器。全书共分10章：引言、微传感器与信号、微传感器的常用材料及加工工艺、热学量微传感器、辐射量微传感器、机械量微传感器、磁微传感器、化学量微传感器常用技术、化学量微传感器、微传感器的数据获取。

本书可供高等工科院校微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业师生使用，也可供从事仪器相关专业的研究、设计、制造、使用的工程技术人员学习和参考。

目录

1 引言

1.1　微电子与微传感器

1.1.1 微电子与微器件

1.1.2　微传感器

1.1.3 微机电系统

1.1.4　微器件的相关理论与技术

1.2　微传感器与测量系统

1.2.1 测量系统

1.2.2　微传感器的分类

1.2.3 微传感器系统

1.3 本书内容的学习

1.3.1 专业文献的查找

1.3.2 专业文献的阅读

1.3.3　数据的总结与表达

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