微晶半导体材料 【microcrystalline semiconductor】具有半导体性质的微晶相和无定形相的复相结构薄膜组成的半导体材料。材料的平均大小在数纳米至数十纳米之间。微晶半导体中有一类特别的材料叫微晶硅。通常用气相沉积法、磁控溅射法、非晶硅热处理法制备，在太阳能电池、传感器和集成电路等领域内应用。