微机械光子学（影印版）的作者是浮田，由科学出版社于2007年1月出版，该书定价为40元，主要讲述了光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结构，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。

内容提要

目录

作者：(日)浮田

ISBN：10位[7030182405]13位[9787030182401]

出版社：科学

出版日期：2007-01

定价：￥40.00元

内容提要

光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结构，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。

本书内容丰富，系统阐述了光学MEMS，可供从事此领域的学生及工程技术人员参考。

目录

Preface

1FromOpticalMEMStoMicromechanicalPhotonics

1.1MicromechanicalPhotonics-AnEmergingTechnology

1.2FabricationMethods

1.2.1BulkandSurfaceMicromachining

1.2.2Three-DimensionalMicromachining

1.2.3MonolithicIntegration-MicromachiningforandLD

1.3MiniaturizedSystemswithMicroopticsandMicromechanics

1.3.1ImportantAspectsforMiniaturization

1.3.2LightProcessingbyMicromechanics

1.3.3KineticEnergyofLight

1.3.4MicromechanicalControlbyOpticalPressure

1.4IntegratedSystemswithLDsandMicromechanics

1.4.1TunableLD

1.4.2ResonantSensor

1.4.3OpticalEncoder

1.4.4IntegratedFlyingOpticalHead

1.4.5BloodFlowSensor

1.5FutureOutlookofOpticalMEMSandMicromechanicalPhotonics

2ExtremelyShort-External-CavityLaserDiode

2.1Background

2.2TheoreticalAnalysis

2.2.1LasingConditionofaSolitaryLD

2.2.2EffectiveReflectivity

2.2.3LightOutput

2.2.4Wavelength

2.3ExperimentalAnalysis

2.3.1ExperimentalSetup

2.3.2LightOutput

2.3.3WavelengthandSpectrumCharacteristics

2.4Applications

2.4.1TunableLD

2.5DesignsforRelatedProblemsofanESECLD

3.0pticalTweezers

3.1Background

3.2TheoreticalAnalysis

3.3ExperimentalMeasurementandCOmparison

3.4ApplicationsofOpticalTweezers

4.0pticalRotor

4.1Background

4.2TheoreticalAnalysisⅠ-OpticalTorque

4.3THeoreticalAnalysisⅡ-FluidDynamics

4.4Fabrication

4.5Evaluation

4.6MixerApplicationforU-TAS

5NearField

5.1Background

5.2TheoreticalAnalysis

5.3ExperimentalAnalysis

5.4FutureApplications

6AnswersHintsandSolutions

References

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