杂质原子进入半导体硅以后，杂质原子取代晶格原子而位于晶格点处，称为替位式杂质。

右图表示硅晶体平面晶格中间隙式杂质和替位式杂质的示意图。途中A为间隙式杂质，B为替位式杂质。