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乔大勇，男，1977年生，山东胶南人，工学博士，教授，硕士生导师，现任陕西省微纳米系统重点实验室副主任，入选教育部2009年新世纪优秀人才。于2007年获得工学博士学位，2008年破格提升为副教授，2011年破格提升为教授。

主要研究微机电系统集成设计技术、微/纳制造技术、微型光学器件和微型能源器件。先后主持和承担国家863计划，国家自然科学基金，总装武器装备创新重点基金项目，高等学校科技创新工程重大项目培育资金项目和西安应用材料创新基金项目等科研项目十余项，研制出分立式微变形镜、微型可编程光栅和微型核电池等新型微器件。近三年来在国内外重要学术刊物上共发表研究论文60余篇，被SCI、EI收录30多篇，获得已授权发明专利8项，获得省部级奖3项。

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[1] Da-Yong Qiao, Xue-Jiao Chen, Yong Ren and Wei-Zheng Yuan, A nuclear micro battery based on SiC Schottky barrier diode, Journal of MEMS, DOI: 10.1109/JMEMS.2011.2127448.

[2] 乔大勇，苑伟政，基片摆动对磁控溅射膜厚均匀性的影响研究，航空精密制造技术，2010，46(6): 6-8.

[3] 乔大勇，刘耀波，王松洁，程步清，苑伟政，基于微机电系统技术的分立式微变形镜，航空精密制造技术，2010, 46(4): 6-12.

[4] 乔大勇, 陈雪娇, 任勇, 藏博, 苑伟政, 一种基于PIN结的硅基微型核电池研究, 物理学报, 2011,60(2):020701 UT ISI: 000287947000023.

[5] Da-Yong Qiao, Song-Jie Wang and Wei-Zheng Yuan, A continuous-membrane micro deformable mirror based on anodic bonding of SOI to glass wafer, Microsystem Technologies, 2010, 16(10): 1765-1769, UT ISI:000281734000013 DOI: 10.1007/s00542-010-1102-0

[6] 郭辉，王月胡，张玉明，乔大勇，张义门，Formation of the intermediate semiconductor layer for the Ohmic contact to silicon carbide using Germanium implantation，CHINESE PHYSICS B，18(10):4470-4473，2009年10月,SCI:000270300600061 EI:20094512422273

[7] 乔大勇, 苑伟政, 田力, 基于绝缘体上硅的连续薄膜式微变形镜工艺,中国激光, 36,2009：78-82. EI: 20100912741047

[8] QIAO Da-Yong, YUAN Wei-Zheng, GAO Peng, YAO Xian-Wang, ZANG Bo, ZHANG Lin, GUO Hui, ZHANG Hong-Jian, Demonstration of a 4H SiC Betavoltaic Nuclear Battery Based on Schottky Barrier Diode, CHIN PHYS LETT, 2008, 25(10): 3798-3800. UT ISI:000259736600076

[9] Da-Yong Qiao, Wei-Zheng Yuan, Yi-Ting Yu, Qing Liang, Zhi-Bo Ma, Xiao-Ying Li, The residual stress induced buckling of annular thin plates and its application in residual stress measurement of thin films, Sensors & Actuators: A, 2008, 143(2): 409-414. DOI (10.1016/j.sna.2007.11.028),(UT ISI:000255453400030 EI: 081411185264). [10] Qiao Dayong, Yuan Weizheng, Li Xiaoying, A Two-Beam Method for Extending the Working Range of Electrostatic Parallel-Plate Micro Actuators, Journal of Electrostatics, 2007, 65(4) pp 256-263 (UT ISI:000245603400009 EI:070310367663)

[11] 乔大勇，苑伟政，马志波，李开成，李晓莹, 一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究,传感技术学报，2006年第19卷 第6期，pp 2662~2664.

[12] 乔大勇 苑伟政 饶伏波,大冲程低PV值的分立式微变形镜结构设计研究，西北工业大学学报，2005年10月第23卷第5期 pp 637-641(EI:06029637354).

[13] 乔大勇 饶伏波 苑伟政 姜澄宇,几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较,航空精密制造技术,2005年第41卷第5期，pp 5～8.

[14] 乔大勇,苑伟政,孙磊,纯有机染料共敏化纳米晶太阳能电池的性能研究, 感光科学与光化学, 2005年第23卷第5期pp327-332 (EI:05399389061).

[15] 乔大勇, 苑伟政, 虞益挺, 谢建兵, 二氧化硅反应离子刻蚀中的微负载效应研究，航空精密制造技术，2006年第42卷第2期 4～6.

[16] 乔大勇，苑伟政，RF MEMS开关，微纳电子技术，2002.5.

[17] Da Y. Qiao, Wei Z. Yuan, and Xiao Y. Li, Design of an Electrostatic Repulsive-Force Based Vertical Micro Actuator, Proc. of IEEE-NEMS 2006, Jan. 18-21 2006, Zhu Hai China，ISTP:000248485800038

[18] Dayong Qiao, Weizheng Yuan, Kaicheng Li, Xiaoying Li, Fubo Rao, Comparative Study of Different Type of Segmented Micro Deformable Mirrors, 2nd Intl. Symp. on Adv. Optical Manufacturing and Testing Technologies,Nov 02-05, 2005, Xian, China, Proc. of SPIE Vol.6149, 61491H,(ISTP:000236537700053, EI:06209874827).

[19] D.Y. Qiao, W.Z. Yuan, A Novel Non-linear Beam Method to Extend the Working Range of Electrostatic Parallel-Plate Micro Actuator, Proc. of the 5th EUSPEN International Conference, Montpellier, France, 2005.

[20] Da-Yong Qiao, Wei-Zheng Yuan and Wei-Jian Li, Residual Stress Induced Deformation of Bilayer Plate with Patterned Additional Layer, IEEE Proceedings of the 2004 International Conference on Intelligent Mechatronics and Automation, Chengdu, China, 2004 (ISTP:000225452400056, EI:04498704542).

[21] Xiao-Ying Li, Yong Ren, Xue-Jiao Chen, Da-Yong Qiao, Wei-zheng Yuan, 63Ni schottky barrier nuclear battery of 4H-SiC, J Radioanal Nucl Chem(2011) 287:173-176, DOI: 10.1007/s10967-010-0746-7. UT ISI:000286333400024

[22] 燕斌，苑伟政，虞益挺，乔大勇，孙瑞康，李太平，一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试，光学学报，2010，30(11)：3128-3132

[23] 姚贤旺，苑伟政，乔大勇，臧博，4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池，传感技术学报，23(10): 1403-1407, 2010.

[24] Yu Yiting, Yuan Weizheng, Sun Ruikang, Qiao Dayong, Yan Bin, A Strategy to Efficiently Extend the Change Rate of Period for Comb-drive Micromechanical Pitch-Tunable Gratings, Journal of Microelectromechanical Systems, 2010, 19(5): 1180-1185. SCI： 000283369500017

[25] Yu YT, Yuan WZ, Qiao DY, A simple numerical method to study the far-field diffraction of optical MEMS devices with a large array and complex element geometry, SENSORS AND ACTUATORS A, 2010, 158(1): 30-36

[26] Guo H, Wang YH, Zhang YM, Qiao DY, Formation of the intermediate semiconductor layer for the Ohmic contact to silicon carbide using Germanium implantation, CHINESE PHYSICS B, 18(10): 4470-4473, 2009. （SCI: 000270300600061）

[27] Yi-Ting Yu, Wei-Zheng Yuan, Da-Yong Qiao. Electromechanical characterization of a new micro programmable blazed grating by laser Doppler vibrometry (LDV). Microsystem Technologies, 2009, 15 (6) : 853–858. (EI: 20092212095524; SCI: 000266044100007)

[28] Guo, H; Zhang, YM;Qiao, DY; Sun, L; Zhang, YM, The fabrication of nickel silicide ohmic contacts to n-type 6H-silicon carbide, CHINESE PHYSICS, 2007, 16 1753-1756(SCI: UT ISI)

[29] Yi-Ting Yu, Wei-Zheng Yuan, Da-Yong Qiao, Qing Liang, Evaluation of residual stresses in thin films by critical buckling observation of circular microstructures and finite element method, Thin Solid Films, 2008, 516: 4070-4075. (UT ISI: 000255125900057 EI: 081211160157).

[30] 虞益挺，苑伟政，乔大勇，梁庆，一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构，物理学报，2007，56(10):5691-5697. （UT ISI:000250313000023; EI:074510910122）

[31] Li Tian, Xiaoying L, Dayong Qiao, Bin Yan, High-surface-quality and wider-modulation-range continuous face-sheet micro deformable mirror based on SOI, Advanced Materials Research, 2009, 60-61:185-188

[32] 虞益挺, 苑伟政, 王兰兰, 乔大勇, 梁庆. 微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验. 光学学报. 2008, 28(11): 2220～2224. EI: 085011776943

[33] 梁庆, 苑伟政, 虞益挺, 乔大勇, SiO2牺牲层刻蚀实验的研究与分析, 压电与声光, 2008, 30(3): 373~375

[34] 秦冲, 苑伟政, 乔大勇, 安飞,基于β辐生伏特效应的同位素微能源研究, 核电子学与探测技术, 28(02), pp 294-304, 2008

[35] 董鹏, 苑伟政, 乔大勇, 一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作, 功能材料与器件学报, 14(02), pp 319-322, 2008

[36] 梁庆, 苑伟政, 虞益挺,乔大勇, MEMS可编程光栅动态驱动电路的研制, 传感技术学报, 2008, 21(4):680~683

[37] 董鹏, 苑伟政, 乔大勇, 种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作, 功能材料与器件学报, 2008, 14(2): 319~322

[38] 虞益挺，苑伟政，MEMS微型可编程光栅的研究现状，仪器仪表学报，2008，29(5): 1109-1113. EI: 082311304767

[39] 虞益挺, 苑伟政, 梁庆, 乔大勇. 薄膜残余应力对MEMS微型光栅性能的影响. 纳米技术与精密工程. 2007, 5(2): pp. 94-97.(EI:073110726385)

[40] 梁庆，苑伟政，虞益挺，乔大勇，牺牲层刻蚀实验的在线观察与研究，纳米技术与精密工程.2007，Vol.5，No.3:p169-172，EI: 074510909702

[41] 马志波，乔大勇，苑伟政，姜澄宇，李晓莹，MEMS微结构黏附问题研究，航空精密制造技术，2006(42):6-11

[42] 虞益挺，苑伟政，乔大勇，曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用，机械工程学报，2007（43）78-81 (EI: 071810576666)

[43] 孙磊，苑伟政，乔大勇，一种新型基于MEMS的同位素微电池的研究，功能材料与器件学报，2006 12(5) pp 434-438. (EI: 065010305220)

[44] Y.T. Yu, W.Z. Yuan and D.Y. Qiao, Effects of Imperfections on Bifurcation of Multi-layer Microstructures of MEMS under Thermal Loading, Key Engineering MaterialsVol. 339 (2007) pp. 276-280.（EI:071210498656）

[45] 孙磊，苑伟政，乔大勇，秦冲，一种面向微型传感器的新型微能源的结构设计与仿真，传感技术学报，2006年第19卷 第6期，pp 2488～2490(EI源)

[46] Sun Lei, Yuan Weizheng, Qiao Dayong, Research on performance of hybrid organic dyes-sensitized solar cell, Chinese Optics Letters, 2006 Vol. 4(6) pp 357 359. (EI:063310068356)。

[47] Lei Sun, Wei Z. Yuan, and Da Y. Qiao,A Novel Modeling and Simulation of Radioisotope Micro Batteries Based on MEMS Technology. Proc. of IEEE-NEMS 2006, Jan. 18-21 2006, Zhu Hai China，ISTP:000248485800040 [48] 李开成，乔大勇，苑伟政，李晓莹，环形阵列微变形镜两种设计准则的分析比较，光电工程，2006年第33卷 pp 109~112. (EI: 070710428044)

[49] 秦冲，苑伟政，乔大勇，孙磊，小角色，微能源发展概述，光电子技术，2005, Vol. 25(4), 218~221.

[50] 安飞，苑伟政，乔大勇，微型可编程光栅实现光谱模拟的方法研究，光学仪器，2007（29） 31-35

[51] 孙磊，苑伟政，乔大勇，秦冲，一种基于MEMS的同位素微电池的新型结构设计与仿真，传感技术学报，2006年 第19卷 第4期 997～1000.

[52] 俞静峰 苑伟政 乔大勇 姜澄宇，微型可编程衍射光栅的特性分析，西北工业大学学报，2006第24卷 第1期, pp 76-79 (EI:06239925497)

[53] 林国树, 李晓莹, 乔大勇, 苑伟政, 基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真, 航空制造技术, 2006(08), pp 80-86, 2006

[54] 虞益挺, 苑伟政, 乔大勇, 李晓莹, 分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计, 传感技术学报, 19(05), pp 1761-1767, 2006.

[55] 安飞, 苑伟政, 乔大勇, 秦冲, 微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究, 传感技术学报, 19(05), pp 1754-1760, 2006.

[56] 马志波，乔大勇，虞益挺，苑伟政，姜澄宇，一种新型CCD图像采集系统设计，传感技术学报，2006年 第19卷 第4期 1250～1252.

[57] 马志波, 乔大勇, 苑伟政, 姜澄宇, 李晓莹, MEMS微结构粘附问题研究, 航空精密制造技术, 42(06), pp 9-11, 2006.

[58] Yiting YU,Weizheng YUAN,Dayong QIAO.Effects of Residual Stresses on Mechanical Properties of Segmented Micro Deformable Mirrors, 2nd Intl. Symp. on Adv. Optical Manufacturing and Testing Technologies,Nov 02-05, 2005, Xian, China, Proc. of SPIE Vol.6149, 614919 (ISIP:000236537700045, EI:06209874820).

[59] Yiting YU,Weizheng YUAN,Dayong QIAO，Effects of Imperfections on Bifurcation of Multi-layer Microstructures of MEMS under Thermal Loading.ASPEN2005, Nov.12-14,2005, Shenzhen China, ISTP:000246326400048。

[60] 孙磊，苑伟政，乔大勇，染料共敏化纳米晶太阳能电池的性能研究，光电子技术，2005年第25卷第3期pp150-153

[61] 虞益挺，苑伟政，乔大勇，微旋转结构在薄膜应力测量中的应用，中国机械工程，v 16, n SUPPL., July, 2005, p 409-411(EI:05349313057)

[62] 虞益挺，苑伟政，乔大勇,微机械薄膜残余应力研究,微细加工技术，2005(2)-46-50 (EI:05339305428)

[63] 虞益挺，饶伏波，乔大勇，苑伟政，一种新型CCD驱动电路设计方法，传感技术学报，2005第18卷第2期 pp 388-390(EI:05319275714)

[64] 李伟剑, 苑伟政, 马炳和, 乔大勇, 硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟, 西北工业大学学报, 2003, Vol.21, No.6，pp 753-756

[65] Li Weijian, Yuan Weizheng, Qiao Dayong. Integrated design, Optimization and Simulation of MEMS gyroscope. Micro-Nano Technologies for Aerospace & Industrial Applications. Montreal, Canada. 2002.

[66] 饶伏波，乔大勇，苑伟政，姜澄宇，静电活塞式驱动的分立式微镜的快速仿真，微纳电子技术，2005, 42(2): 78-82..

[67] 饶伏波，乔大勇，苑伟政，自适应光学系统MEMS微变形镜研究，纳米技术与精密工程，2004，Vol.2, No.4, 288-292.

[68] Yu Yi-Ting, Yuan Wei-Zheng, Qiao Da-Yong, MEMS-based MIMU for acceleration measuring, Micronanoelectronic Technology vol.41, no.1: 43-5 2004.

专利

授权专利：

[1] 苑伟政，虞益挺，乔大勇，微机械变压器及其制作方法，ZL200910022029.9，申请日：2009.4.15，授权日：2011.3.16

[2] 发明专利：任森 苑伟政 乔大勇 王玉朝 吕湘连，基于滑膜差动结构的硅谐振式压力传感器及其制作方法，专利号：ZL200910023322.7，申请日：2009-07-14 ，授权日：2011-01-19

[3] 发明专利：苑伟政 虞益挺 乔大勇 孙瑞康 燕斌，一种周期可调微机械光栅及其制作工艺， ZL 200910021322.3 ,申请日：2009-02-27 ,授权日：2011-03-02

[4] 发明专利，乔大勇，苑伟政，马志波，微型纵向驱动器，专利号：ZL200610041616.9，授权公告日：2009年11月18日

[5] 发明专利，苑伟政，虞益挺，乔大勇，薄膜残余应力测量结构及其制作和测试方法，专利号：ZL200710017231.3，授权日：2010-02-10

[6] 发明专利，苑伟政，乔大勇，马志波，一种微型平板静电驱动器及其制作方法，专利号：ZL200510042712.0, 2005

[7] 发明专利，苑伟政，乔大勇，孙磊，微电池及其制作方法，专利号：ZL200510096228.6，2005，授权日：2008.08.27

[8] 实用新型：乔大勇，基于SOI的连续薄膜式微变形镜，申请号：ZL200820228469.0，2008年12月25日

申请专利：

[1] 发明专利，乔大勇，王玉朝，任森，苑伟政，袁广民，李小卿，一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路， 201010191597.4 申请日：2010-06-03

[2] 发明专利：乔大勇，孙瑞康，靳倩，李晓莹，燕彬，一种基于SOI晶圆双掩膜刻蚀的垂直梳齿驱动微扭转镜及其制作方法，申请号：201010217116.2，申请日：2010-07-01

[3] 发明专利，苑伟政，乔大勇，虞益挺，多光谱成像系统，受理号：200710083869.7, 2007年

[4] 发明专利，乔大勇，苑伟政，碳化硅肖特基结式核电池及其制作方法，申请号：200810150069.7

[5] 发明专利，乔大勇，基于SOI的连续薄膜式微变形镜及其制备方法，申请号：200810236477.4，2008年12月25日

[6] 发明专利，乔大勇，苑伟政，藏博，姚贤旺，吕湘连，具有保护环结构的肖特基结核电池及其制作方法，受理号：200910023133.X，申请日：2009年6月30日

[7] 发明专利，乔大勇，苑伟政，藏博，姚贤旺，吕湘连，具有保护环结构的微型核电池及其制作方法，受理号：200910023134.4，申请日：2009年6月30日

[8] 发明专利，乔大勇，苑伟政，姚贤旺，藏博，吕湘连，SiC肖特基结式Aplha放射性同位素电池及其制作方法 受理号：200910023135.9，申请日：2009年6月30日

获奖情况

[1] 2004年，国防科学技术奖，二等奖，排名第三

[2] 2005年，国防科学技术奖，二等奖，排名第五

[3] 2005年，陕西省科学技术奖，三等奖，排名第七

[4] 2009年，中国机械工业科学技术奖，一等奖，排名第十四