内部干扰主要来自于检测系统内部，包括元器件、电源电路、信号通道、负载回路、数字电路等内部干扰因素。

1）元器件干扰

若电阻器、电容器、晶体管、变压器和集成电路等电路元器件选择不当，材质不对、型号有误、焊接虚脱和接触不良时，就可能成为电路中最容易被忽视的干扰源。

电阻器分可变电阻器和固定电阻器，具有将压和限流的作用，同时，还有热效应。从结构上讲，电位器触点的不良容易造成接触噪声。电位器产生干扰的直接原因：电阻工作在额定功率的一半以上，产生热噪声；电阻材质较差，产生电流噪声；电位器因触点移动产生的滑动噪声；电阻器在交流频率的一定频率下会呈现电感和电容特性。

电容器不仅具有电容值，还具有电阻和电感量。不同材质的电容器会引起不同的噪声，如电容中铝电解电容容易产生噪声；电路中电解电容中电极接反，也会产生较大的噪声。根据电容的自身特性，在电路中产生干扰的原因主要有：选型错误，对用于低频电路、高频电路、滤波电路以及作为退耦的电容，没有根据电路的要求合理选择电容型号；忽视电容器的精度，在大多数场合，对电容的电容值并不要求很精确，但在振荡电路、时间型电路及音调控制电路中，电容器的电容值需要很精确；忽视电容的等效电感；忽略电容的使用环境温度和湿度。