膜厚测试仪，分为磁感应镀层测厚仪，电涡流镀层测厚仪，荧光X射线仪镀层测厚仪。 采用磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。

磁感应测量原理

电涡流测量原理

X射线衍射装置（XRD）

萤光X射线装置（XRF）

磁感应测量原理

采用磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。覆层越厚，则磁阻越大，磁通越小。利用磁感应原理的测厚仪，原则上可以有导磁基体上的非导磁覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果覆层材料也有磁性，则要求与基材的导磁率之差足够大（如钢上镀镍）。当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时，仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品采用指针式表头，测量感应电动势的大小，仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。近年来的电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术，利用磁阻来调制测量信号。还采用专利设计的集成电路，引入微机，使测量精度和重现性有了大幅度的提高（几乎达一个数量级）。现代的磁感应测厚仪，分辨率达到0.1um，允许误差达1%，量程达10mm。

磁性原理测厚仪可应用来精确测量钢铁表面的油漆层，瓷、搪瓷防护层，塑料、橡胶覆层，包括镍铬在内的各种有色金属电镀层，以及化工石油待业的各种防腐涂层。

电涡流测量原理

高频交流信号在测头线圈中产生电磁场，测头靠近导体时，就在其中形成涡流。测头离导电基体愈近，则涡流愈大，反射阻抗也愈大。这个反馈作用量表征了测头与导电基体之间距离的大小，也就是导电基体上非导电覆层厚度的大小。由于这类测头专门测量非铁磁金属基材上的覆层厚度，所以通常称之为非磁性测头。非磁性测头采用高频材料做线圈铁芯，例如铂镍合金或其它新材料。与磁感应原理比较，主要区别是测头不同，信号的频率不同，信号的大小、标度关系不同。与磁感应测厚仪一样，涡流测厚仪也达到了分辨率0.1um，允许误差1%，量程10mm的高水平。

采用电涡流原理的测厚仪，原则上对所有导电体上的非导电体覆层均可测量，如航天航空器表面、车辆、家电、铝合金门窗及其它铝制品表面的漆，塑料涂层及阳极氧化膜。覆层材料有一定的导电性，通过校准同样也可测量，但要求两者的导电率之比至少相差3-5倍（如铜上镀铬）。虽然钢铁基体亦为导电体，但这类任务还是采用磁性原理测量较为合适

X射线衍射装置（XRD）

简单地说萤光X射线装置(XRF)和X射线衍射装置(XRD)有何不同,萤光X射线装置(XRF)能得到某物质中的元素信息（物质构成,组成和镀层厚度）,X射线衍射装置(XRD)能得到某物质中的结晶信息。

具体地说,比如用不同的装置测定食盐(氯化钠=NaCl)时,从萤光X射线装置得到的信息为此物质由钠(Na)和氯(Cl)构成,而从X射线衍射装置得到的信息为此物质由氯化钠(NaCl)的结晶构成。单纯地看也许会认为能知道结晶状态的X射线衍射装置(XRD为好,但当测定含多种化合物的物质时只用衍射装置(XRD)就很难判定,必须先用萤光X射线装置(XRF)得到元素信息后才能进行定性。

萤光X射线装置（XRF）

X射线的能量穿过金属镀层的同时，金属元素其电子会反射其稳定的能量波谱。通过这样的原理，我们设计出：膜厚测试仪也可称为膜厚测量仪，又称金属涂镀层厚度测量仪，其不同之处为其即是薄膜厚度测试仪，也是薄膜表层金属元素分析仪，因响应全球环保工艺准则，故目前市场上最普遍使用的都是无损薄膜X射线荧光镀层测厚仪。

在此技术方面广大业界一致认同日本精工膜厚测量仪比较领先，因其为全世界第一台膜厚测量仪的生产商。

具体介绍为：进口日本精工（SFT9100M）X-RAY荧光无损金属薄膜电镀层厚度测量仪

SFT9100M是精工膜厚仪系列中经济实用又功能齐全的机型

用途：检测金属镀层膜厚厚度的仪器，保证镀层厚度品质，减少电镀成本浪费

技术参数：

可测元素：Ti～U

X射线管：管电压45KV，管电流1mA

检测器：比例计数管

样品观察：CCD摄像机

对焦方式：激光自动对焦

测定软件：薄膜FP法、检量线法

准直器：2个（0.1mm，0.025*0.3mm）

安全机能：测量室门自锁功能

Z轴防冲撞功能

仪器自诊断功能

主要特点

自动对焦功能 。配备激光自动对焦功能，能够准确对焦，提高测量效率。

具有焦点距离切换功能，适用于有凹凸的机械部件与电路板的底部进行测量

采用检量线法和FP法，两个准直器可自动切换，采用激光自动对焦，并配备有Z轴防冲撞传感器，可防

止在对焦时造成的损坏。

选用Mo靶材X射线管，测量贵金属更灵敏。

支持多种语言的软件系统。简体中文、繁体中文、英语、日语、韩语

搭载样品尺寸的兼容性

可适用于各种样品，能够通过一台仪器测量，从电子部件、电路板到机械部件等高度较高的样品，从较厚

的样品（机械零部件）之大型线路板（PCB）及电子元器件等

卤素灯照明

即时生成测量报告的便捷性 。运用搭载的Microsoft Word? Excel? 可以简单轻松得到制作报告

多种修正功能。基材修正、已知样品修正、人工输入修正

搭载了电动X－Y移动平台

进口日本精工（SFT9200）X-RAY荧光无损金属薄膜电镀层厚度测量仪

SFT9200是精工膜厚仪系列中普及型

用途：检测金属镀层膜厚厚度的仪器，保证镀层厚度品质，减少电镀成本浪费

「SFT9200系列」继承了拥有了20多年历史及光辉业绩的「SFT系列」(操作性与可靠性共存)的优点，并不断地发展，成为可对应较广应用范围的X射线荧光镀层厚度测量仪[新标准机型]。

产品副名称：应用范围较广的标准型镀层厚度测量仪

产品型号：SFT9200、SFT9250、SFT9255

技术参数：

仪器的特长：广泛应用型

可测元素：Ti～U

X射线管：小型空气冷却型高功率X射线管球(W靶)管电压：45kV 管电流：1mA Be窗

滤波器：

一次滤波器：A1-自动切换

二次滤波器：Co-自动切换

检测器：比例计数管

样品观察：CCD摄像机

对焦方式：激光自动对焦

测定软件：薄膜FP法、检量线法

5个准直器可自动切换

型(Φ0.1、Φ0.2、Φ0.3mm)

型(0.2×0. 05 mm、0.05×0.02 mm)

安全机能：测量室门自锁功能

Z轴防冲撞功能

仪器自诊断功能

仪器介绍：

SFT系列中标准型仪器

滤波器

另有SFT9250、SFT9255两种机型

标准配备有Windows2000中文操作界面

采用检量线法和FP法，测量数据与Word和Excel链接

自动生成报告和数据处理

5个准直器可自动切换

工作台3维电动，可编程进行自动测量

采用激光自动对焦，并配备有Z轴防冲撞传感器

可防止在对焦时造成仪器的损坏。

产品特点：

能够测量无铅焊锡

配备了薄膜FP法，可以同时测量Sn-Ag，Sn-Bi，Sn-Cu等，无铅焊锡的镀层后与成份

搭载中心搜索软件

通过扫描样品可以自动检测出线及基板点面部分的测量中心位置。

拥有防冲功能

搭载激光对焦系统

搭载测试报告自动生成软件

拥有自动测量软件以及中心搜索软件

搭载了薄膜FP法软件

X射线和紫外线与红外线一样是一种电磁波。可视光线的波长为0.000001 m （1μm）左右,X射线比其短为0.000000000001 m至0.00000001 m (0.01- 100 Å)左右。

对某物质进行X射线照射时,可以观测到主要以下3种X射线。

（1） 萤光X射线

（2） 散乱X射线

（3） 透过X射线

SII的产品是利用萤光X射线得到物质中的元素信息(组成和镀层厚度)的萤光X射线法原理。和萤光X射线分析装置一样被使用的X射线衍射装置是利用散乱X射线得到物质的结晶信息(构造)。而透过X射线多用于拍摄医学透视照片。另外也用于机场的货物检查。象这样根据想得到的物质信息而定X射线的种类。

简单地说萤光X射线装置(XRF)和X射线衍射装置(XRD)有何不同,萤光X射线装置(XRF)能得到某物质中的元素信息（物质构成,组成和镀层厚度）,X射线衍射装置(XRD)能得到某物质中的结晶信息。

具体地说,比如用不同的装置测定食盐(氯化钠=NaCl)时,从萤光X射线装置得到的信息为此物质由钠(Na)和氯(Cl)构成,而从X射线衍射装置得到的信息为此物质由氯化钠(NaCl)的结晶构成。单纯地看也许会认为能知道结晶状态的X射线衍射装置(XRD为好,但当测定含多种化合物的物质时只用衍射装置(XRD)就很难判定,必须先用萤光X射线装置(XRF)得到元素信息后才能进行定性。