掠射角沉积，GLAD（Glangcing Angle Deposition),又可称为 倾斜角沉积。

是一种获得专利的薄膜沉积的过程。由Young 和 Kowal在1959年首次提出，M. Brett and K. Robbie在1998年首次制备成功。 主要原理是吸附原子扩散和核子的影蔽效应。可以制备出形貌可控的薄膜。