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词条 路敦武
释义

路敦武 高级工程师。生于1940年,吉林延吉人。毕业于长春光学精密机械学院。现任职于中国科学院上海光学精密机械研究所。主要专利发明有:用吸附针尖组装微小构件的装置(专利号: ZL94329919. 6);线条倾斜测量误差自、动补偿方法(专利号:ZL94112044.9)等六项;鉴定科研成果十三项。其中:扫描投影光刻机,获上海市科学进步一等奖;I:IStepper亚微米光刻镜头,获上海市科学进步二等奖;扫描投影光刻机,获中国科学院科学技术二等奖。在国内发表学术论文六十余篇,另有《光学系统的研究与检验》译著一部。

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更新时间:2025/4/1 13:22:18