| 词条 | 表面分析技术 |
| 释义 | § 表面分析技术 表面分析技术 利用电子、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用，测量从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像，得到表面成分、表面结构、表面电子态及表面物理化学过程等信息的各种技术，统称为表面分析技术。在20世纪60年代超高真空和高分辨高灵敏电子测量技术建立和发展的基础上，已开发了数十种表面分析技术，其中主要有场致发射显微技术、电子能谱、电子衍射、离子质谱、离子和原子散射以及各种脱附谱等类。70年代后期建立的同步辐射装置，能提供能量从红外到硬X 射线区域内连续可调的偏振度高和单色性好的强辐射源，又大大增强了光（致）发射电子能谱用于研究固体表面电子态的能力,开发了光电子衍射和表面X射线吸收边精细结构。此外，电子顺磁共振、红外反射、增强喇曼散射、穆斯堡尔谱学、非弹性电子隧道谱、椭圆偏振等，也用于某些表面分析场合，一些主要的表面分析技术的物理过程和特点如下表所示。 各种技术的表面灵敏度并不相同，单一技术只得到表面某一方面的信息。为了对固体表面进行较全面的分析，常采用同时配置几种表面分析技术的多功能装置。目前，各种表面分析技术的定量化尚待逐步完善。 § 表面检测的技术要求 灵敏的检测技术，因为一般表面原子占整个晶体的比例为10－7左右，几乎所有的检测技术要用到信号放大器及倍增管，以及光子或电子计数器； 检测的技术是表面灵敏的，因为要研究表面的理化性能 要检测信号，必须要有信号载体，我们称这种信号载体为探针； 样品表面可控制的，即结构和化学组成等可以控制。 § 表面分子技术概况 表面分子技术 作为信号载体的探针，基本包括：电子，离子，光子和中性粒子，此外还有热和场， 以探针接触表面时，必然会发生探针与表面的相互作用。 弹性散射，电子本身不损失能量； 非弹性散射，电子传递或吸收样品能量； 注入，钻入样品内； 衍射，由于其波长与样品晶格常数接近，从而满足布拉格方程或劳埃关系，产生衍射花样； 轰击样品，产生新的二次电子和X－射线； 断裂表面键，诱导脱附。 § 参考书目 1.D. P. Woodruff and T. A. Delchar, Modern Techniques of Surface Science, Cambridge, 1986. 2.D. Briggs and M. P. Seah, Practical Surface Analysis, John Wiley and Sons, Inc., 1983. |
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