词条 | 平晶 |
释义 | 图1 平晶 平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差,图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的,用于测量两高光洁表面的平行度误差,例如千分尺两测量面的平行度误差(图1b)。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45~150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03~0.05微米;2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。 图2 平晶 平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的,故其测量方法称为平晶干涉法(图2),也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面,且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下,则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直,相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好;如干涉条纹弯曲,则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2) 。λ为光波波长,白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量,ω为干涉带间距。 |
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