| 词条 | MEMS教育部重点实验室 |
| 释义 | 实验室概况东南大学半导体专业 1958 年筹建。 1979 年批准为硕士点， 1985 年批准为博士点，同年成立微电子中心， 1998 年批准为博士后流动站。 1999 年申报微电子机械系统（ MEMS ）教育部重点实验室， 2000 年通过可行性论证。 MEMS 教育部重点实验室现有教授 8 人，副教授 13 人，其中有博士学位的教师 9 人。 先后承担的主要课题有： （ 1 ）气象检测 MEMS 芯片与系统，（ 2 ）微执行器计算机辅助设计； （ 3 ）微系统与微力学； （ 4 ）硅片直接键合技术等国家攻关计划、高技术研究计划和国家自然科学基金等项目。 先后获得中国发明专利 14 项。其中硅片直接键合技术已转移到扬州晶来半导体股份公司生产。已培 养 博士 40 余名，每年可招收博士生 8 名、硕士生 20 余名。 MEMS 教育部重点实验室已成为我国 MEMS 科技研究与高级人才培养基地。 目前主要研究领域有： （ 1 ） MEMS 计算机辅助设计； （ 2 ） MEMS 集成传感器； （ 3 ）微执行器； （ 4 ）射频 / 微波 MEMS ； （ 5 ）光 MEMS ； （ 6 ）硅微加工技术。 与国际知名高校、尤其与跨国公司或知名合资公司合作，通过基础研究、技术创新、高新技术产业化和人才培养等方面的努力，为国家经济发展和社会发展做出更大贡献。 实验室科研项目序号 课题名称（课题编号） 课题来源 时间 1. 跨微纳尺度的传感器理论模型与仿真(2006CB300404) 973 2006-2010 2. MEMS系统级设计方法及与IC设计接口研究 （2006AA04Z302） 863 2006-2008 3. 面向安全检测的温度、湿度微传感器 4. MEMS加工工艺仿真系统 5. 硅微纳梁力电耦合多尺度模型与模拟 (2007AA04Z301) 863 2007-2010 6. 基于CMOS后处理的MEMS集成制造技术研究(2007AA04Z306) 863 2007-2010 7. MEMS结构可靠性评估方法及测试的研究(2007AA04Z320) 863 2007-2010 8. 在线式MEMS微波功率传感器及其集成检测系统研究(2007AA04Z328) 863 2007-2010 9. 多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础（90607002） 国家自然基金 2006-2008 10. 计算机辅助制造（50325519） 国家自然基金 11. 单片集成风速计和气压计优化设计理论和封装技术研究（60476019） 国家自然基金 2004-2007 12. 在线式微波功率传感器设计理论与实现方法（60676043） 国家自然基金 2007-2009 13. 单片集成MEMS风速计和气压计的优化理论和封装技术研究（60476019） 国家自然基金 2005-2007 14. 球形玻璃微腔用于MEMS的封装基础研究 15. 教育部新世纪优秀人才计划 教育部 2008-2010 |
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