| 词条 | 中频交流磁控溅射电源 |
| 释义 | 一、原理及其作用中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的40KHz。中频溅射电源以两个溅射靶作 为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上 的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄 放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜 层环境使用。 二、技术说明电源功率范围 10-120KW 输入电源 AC380V 三相四线制 50-60Hz ±10% 输出方式 交流正弦波 输出频率 40KHz 输出电压 空载1000V[有效值] 灭弧时间 ≤3uS 输出电流稳定率 0.25% 冷却方式 2-10KW 风冷 10-120KW 水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 冷却水 清洁 不含矿物质及其它可溶性物质 注：电源的输出特性可根据使用需要做出相应的调整。 |
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