简介

研究方向

论文及著作

科研项目

简介

沈阳建筑大学教授，博士生导师。具有近20年在英国和美国从事超精密运动控制新技术和新产品的研发经验。精通纳米和亚纳米范围的精密测量技术和位移/定位控制技术，并具有利用这些技术解决超精密运动控制和动态分析问题的丰富经验。多年从事超精密半导体检测技术和设备的研制工作。掌握现代扫描显微技术（原子力显微镜、X射线显微镜），熟悉该类仪器的技术和产品的开发及应用。 具有多年在高科技公司从事技术研发，项目管理及企业管理的经验。

研究方向

1 精密设备与仪器

2 超精密运动和定位控制技术

3 纳米和亚纳米范围的精密测量技术

4 超精密运动和定位系统及机构设计

论文及著作

代表性论文：

[1] Y. Xu, P.D.Atherton, T. Hick, M. McConnell, and P. Rhear, Design and characterisation of an Ultra-Precision x-y Stage, Proceedings of the 1stInternational euspen Conference, 1999, Bremen, Germany

[2] Y. Xu, P.D.Atherton, P. Rhear, T. Hick and M. McConnell, Design and characterisation of nanometer precision positioning mechanisms (paper II), Proceedings of 12th ASPE Annual Meeting, 1997, Norfork, Vieginia, USA

[3] Y. Xu, P.D.Atherton T. Hick and M. McConnell, Design and characterisation of nanometer precision positioning mechanisms (paper I), Proceedings of 11th ASPE Annual Meeting, 1996, Monterey, CA, USA

[4] Y. Xu, S.T.Smith, and P.D.Atherton, A metrological scanning force microscope, Precision Engineering, Vol. 19, No 1, 1996

[5] Y. Xu and S.T.Smith, The determination of squeeze film damping in capacitance based cantilever force probes, Precision Engineering, Vol. 17, No 2, 1995, pp 94

代表性著作：

[1] T. Hick, P.D.Atherton, Y. Xu and M. McConnell, The NanoPositioning Book, Queensgate Instruments Ltd, 1997

授权专利：

（1）美国专利：Piezoelectric force motion scanner（压电力/运动扫描仪），美国专利号：US 6,715,336

（2）美国专利：Heavy-load nanopositioner with dual-parallel flexure design（复交链设计高载荷纳米精度定位平台），美国专利号：US 7348709

（3）美国专利：Five Axis Compensated Rotating Stage（5 轴精度补偿旋转平台），美国专利号：US 7,535,193

科研项目

《纳米位移定位控制技术和系统的研发》，国家“十二五”科技支撑计划课题，2011.12-2015.12，承担单位：沈阳建筑大学