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词条 鸟嘴效应
释义

由于氧在二氧化硅中的扩散是一个等向性过程,因此,氧也会通过氮化硅下面的衬垫二氧化硅层进行横向扩散,在靠近刻蚀窗口的氮化硅层底下就会生长出二氧化硅。

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更新时间:2025/3/4 12:56:32