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基本信息

书名:金属有机化合物气相外延基础及应用

作者:陆大成，段树坤　著

出版社:科学出版社

纸张:胶版纸

ISBN:9787030238450

开本:16开

包装:精装

字数:457000

内容简介

金属有机化合物气相处延(movpe)技术是制备化合物半导体异质结、低维结构材料，以及生产化合物半导体光电子、微电子器件的重要方法。本书是国内第一本全面系统地介绍movpe的专著，从理论和实践两个方面分别论述了该技术的生长系统和原材料特性等实验基础、movpe生长热力学、化学反应动力学和输运现象等理论基础。在此基础上系统介绍了Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料生长及其量子阱、量子点等低维结构的movpe生长，以及在光电器件和电子器件方面的应用。书中附有大量参考文献，以便读者进一步参考。本书可供从事半导体科研和生产的科研人员、大专院校教师和研究生使用。

目录

前言

第1章绪论

1.1外延生长

1.2movpe概述

参考文献

第2章movpe生长系统

2.1movpe气体输运分系统

2.2movpe生长反应室分系统

2.3movpe尾气处理分系统

2.4movpe生长控制装置分系统

2.5movpe外延层生长的原位监测

参考文献

第3章原材料

3.1金属有机化合物源

3.2氢化物源