职业概况(职业名称 职业定义 职业等级 职业环境条件 职业能力特征 基本文化程度)

鉴定要求(适用对象 申报条件 鉴定方式 鉴定场所设备)

培训目标

模块设置与培训要求(集成电路制造基础专业英语 集成电路制造工艺基础 集成电路制造关键工序技能训练)

职业概况

职业名称

集成电路制造工艺员

职业定义

从事集成电路制造中光刻、氧化扩散、离子注入、淀积刻蚀、金属化及外围设备保障的操作及维护人员。

职业等级

由低到高设置四个等级：

（一）集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）：分为集成电路制造工艺员（光刻）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（氧化扩散）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（离子注入）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（淀积刻蚀）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（金属化）（国家职业资格四级）、集成电路制造工艺员（外围设备保障）（国家职业资格四级）

（二）集成电路制造高级工艺员（国家职业资格三级）：分为集成电路制造高级工艺员（光刻）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（氧化扩散）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（离子注入）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（淀积刻蚀）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（金属化）（国家职业资格三级）、集成电路制造高级工艺员（外围设备保障）（国家职业资格三级）

（三）集成电路制造工艺师（国家职业资格二级）：分为集成电路制造工艺师（光刻）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（氧化扩散）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（离子注入）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（淀积刻蚀）（国家职业资格二级）、集成电路制造工艺师（金属化）（国家职业资格二级）

（四）集成电路制造高级工艺师（国家职业资格一级）

职业环境条件

净化室内、常温

职业能力特征

手指手臂灵活，色觉、味觉、嗅觉灵敏

基本文化程度

中等职业学校或高级中学毕业

鉴定要求

适用对象

从事或准备从事本职业的技术人员

申报条件

参照《上海市职业技能鉴定申报条件》。

鉴定方式

集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）、集成电路制造高级工艺员（国家职业资格三级）、集成电路制造工艺师（国家职业资格二级）、集成电路制造高级工艺师（国家职业资格一级）采用非一体化鉴定方式：分为理论知识考试和操作技能考核两部分。理论知识考试采用闭卷笔试方式，技能操作考核采用现场实际操作和实践课题方式。理论知识考试和技能操作考核均实行百分制，成绩皆达60分以上者为合格。

鉴定场所设备

知识考试场所为标准教室。

技能操作考核场所应具备满足技能鉴定需要的模拟仿真器具及集成电路制造工作所需的工具、材料和设备。

培训目标

通过本职业集成电路制造工艺员（国家职业资格四级）专业理论知识学习和操作技能训练，学员能够了解从原材料硅片的准备到已完成晶圆测试的集成电路制造工艺的各个阶段，能按工艺文件要求设置工艺条件，并能规范操作相关工序设备，结业后能够综合运用所学的专业知识，从事集成电路制造工艺的工作。并为进一步学习集成电路制造高级工艺员三级的技术理论和操作技能打下基础。

模块设置与培训要求

该职业等级培训主要设置以下模块：

集成电路制造基础专业英语

使学员能识别集成电路制造中使用频率较高的英文单词，能正确识别集成电路制造设备与相关仪器名称。

集成电路制造工艺基础

要求学员了解硅材料和集成电路制造的初步知识、了解集成电路制造工艺的典型流程，并了解集成电路制造工艺所需的环境、条件及所需试剂、材料的特性。了解不同工艺步骤在集成电路制造中所起的作用。

集成电路制造关键工序技能训练

要求学员能按规范正确操作相应集成电路制造工序的仪器设备，并能规范进行相应工序废气物处理，对仪器设备的小故障能够进行查询。