functional pattern；pattern；functional pattern preferred

使用光致抗蚀剂涂层的特定制造步骤所要求的全体同类图像。

例如，在去除集成电路基区氧化物的典型步骤中，这包括呈现在此步骤中集成电路布局图上的所有基区窗口、电阻窗口、电极窗口、基区测试图以及对准标记。