一、个人基本情况 华中科技大学教授。1987在天津南开大学物理系取得学士学位，1990年在北京工业大学应用物理系取得硕士学位。1992年到2002年，先后在北京、深圳以及武汉工作并从事光电领域研究。2003年6月调入华中科技大学机械科学与工程学院以及武汉光电国家实验室成为副教授，同时开始攻读博士学位。于2008年被授予物理电子学博士学位，2010年成为教授。目前主要从事计算物理、MEMS/NEMS系统设计及仿真、MEMS制造工艺与设备、半导体工艺设备设计与制造等研究。

近几年发表的主要文章：

1、Zhiyin Gan, Dexiu Huang, Xuefang Wang, Dong Lin, Sheng Liu. “Getter free vacuum packaging for MEMS”, Sensors and Actuators A: Physical, 149(1), 2009: 159 ~ 164.

2、Tingkai Zhang, Honghai Zhang, Jian Xu, Sheng Liu, Zhiyin Gan.“Study on triple-stack anodic bonding using two electrodes”,Sensors and Actuators A: Physical, 157(1), 2010: 168 ~ 172.

3、 Hui Cao, Zhiyin Gan, Qiang Lv, Han Yan, Xiaobin Luo, Xiaohui Song and Sheng Liu. “Single-walled carbon nanotube network/poly composite thin film for flow sensor”, Microsystem Technologies, 16(6), 2010: 955 ~ 959.

4、C. MingXiang, Y. Xingjian, G. Zhiyinand L. Sheng. "Reliability of Anodically Bonded Silicon－glass Packages", Sensors and Actuators, 120(1), 2005: 291 ~ 295.

5、Song X. H., Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Computational study of thermocompression bonding of carbon nanotubes to metallic substrates,” Journal of Applied Physics 106:104308.

6、Song X. H., Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Controllable fabrication of carbon nanotube-polymer hybrid thin film for strain sensing,” Microelectronic Engineering 86:2330-2333.

7、Song X. H., Liu S., Yan H., and Gan Z. Y., (2009), “First-principles study on effects of mechanical deformation on outer surface reactivity of carbon nanotubes,” Physica E 41:626-630

8、Wang, P., Gan, Z. Y.and Liu, S. (2009), “Improved light extraction of GaN-based light-emitting diodes with surface-patterned ITO,” Optics & Laser Technology 41: 823-826.

9、Gan, Z. Y., Yan, H., Song, X. H., Lv, Q., Cao, H., Xu, J. P., Liu, S. (2009) “Application of Car-Parrinello Molecular Dynamics to Ga-rich GaN Buffer Layer for Stress Relaxation in GaN Grown Layer,” International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation.10(5): 557-562.

10、Yan, H., Gan, Z. Y., Song, X. H., Chen, Z. H., Xu, J. P., Liu,S. (2009) , “Adsorption configuration of magnesium on wurtzite gallium nitride surface using first-principles calculations,” Physica B 404:3594-3597.

11Yan, H.,Gan, Z. Y., Song, X. H., Lv, Q., Xu, J. P., Liu, S. (2009), “Car-Parrinello simulation of initial growth stage of gallium nitride on carbon nanotube,” Physica E 41:1143~1146 .

二、主要研究方向

研究方向一：微纳材料与器件设计与仿真

（1）器件多物理场、多尺度行为分析与建模；

（2）微纳光机电系统设计与制造；

研究方向二：半导体工艺装备设计与制造

（1）半导体工艺过程的建模仿真研究；

（2）面向工艺的装备设计；

三、近年主持的主要科研项目

序号　项目名称　项目性质及来源　项目年月

1　新型MOCVD反应腔设计，LED缺陷抑制及其量子效率调控　973项目子课题　2011.11-2016.11

2　基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究51075171　国家自然科学基金面上项目　2010.8

3　半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制　广东省科技厅粤港重点项目　2009.10

4　面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究2007AA04Z348　863先进制造领域　2007

5　100lm/W 功率型白光LED 研究和产业化2008AA03A184　863先进制造领域　2008

6　基于MEMS技术的微型原子钟研制　863先进制造领域　2006