单个包裹体成分分析（individual fluid inclusions analysis）是利用聚焦微束技术测定单个包裹体的成分。优点能更好地反映被测包裹体所代表成岩成矿阶段流体的性质，提高了研究精度，是包裹体成分分析的发展方向。使用的分析技术主要有激光拉曼光谱、聚焦扫描激光显微光谱、电子探针、扫描电镜和离子探针（较少用）等。