本征扩散（Intrinsic diffusion）：

主要依赖热缺陷进行的扩散叫本征扩散。在杂质原子往半导体中进行热扩散时，如果杂质原子的浓度小于热扩散温度下半导体中的本征载流子浓度，则杂质原子的扩散系数为常数，这种扩散就称为本征扩散。只有在掺杂浓度较低、或者扩散温度不是太高时才可能是本征扩散。满足本征扩散条件的区域即称为本征扩散区。在本征扩散区内，如果扩散有两种杂质，则总的扩散杂质分布将是二者分别扩散所得结果的叠加（即两种杂质的扩散可以分别独立地处理）。