| 词条 | 中频交流脉冲磁控溅射电源 |
| 释义 | 原理及其作用中频交流脉冲磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，双极性脉冲输出，正反脉冲宽度互补调节，中频建设电源以连个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，通过调整AB靶的比例脉宽来控制不同的溅射速率，从而控制两种不同材质靶材的溅射比例，用于制作两种或两种材料以上的金属或反映膜层。电源的输出特性可根据使用需要作相应调整。 技术说明电源功率范围 10--80KW 输入电源 AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10% 输出方式 双极性脉冲 脉冲宽度 10-901%互补调整 输出频率 1-25KHZ 输出电压 空载1000V[正向或反向峰值] 灭弧时间 ≤3uS 输出功率稳定性 1% 冷却方式 2-10风冷 10-80KW水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 冷却水 清洁 不含矿物质及其它可溶性物质 |
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