简介

一般类型

简介

质量流量控制器是用来对各种气体的质量流量进行进行精密测量与控制的一种仪器，他大量用于电子工艺设备中，如扩散，氧化，外延，CVD，等离子刻蚀等，以及镀膜设备，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等行业。

质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC)，它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。

一般类型

质量流量控制器一般分为以下几种类型：

1. 容积式流量计，又称定排量流量计。它利用机械测量元件把流体连续不断的分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复的充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积流量。

2. 浮子式流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种，在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量计 ，是根据安装于管道中流量检测件产生的差压，已知的流体的条件和检测间与管道的尺寸来计算流量的仪表。

4. 涡街流量计，在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。

5. 涡轮流量计，是速度式流量计中的主要种类，它采用多叶片的转子（涡轮）感受流体平均流速，从而推导出流量或总量的仪表。

6. 超声流量计，通过检测流体流动对超声束（或超声脉冲）的作用以测量流量的仪表。

7. 电磁流量计，电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。

8. 热式流量计，热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

科里奥利式流量计，其原理是利用流体在振管内流动时产生的科氏力，以直接或间接地方法测量其力而得到流体质量流量。