张庆瑜，大连理工大学教授，三束材料改性国家重点实验室副主任。

个人简历

社会兼职

研究领域

著作论文

个人简历

1984年毕业于南开大学物理系，获理学学士学位；

1987年毕业于中国科学院沈阳金属研究所，获工学硕士学位；

1998年毕业于复旦大学现代物理研究所，获理学博士学位；

1994年大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，副教授；

1998年大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，教 授。

社会兼职

中国真空学会理事

中国电工学会电子束离子束专委会委员；

辽宁省物理学会表面科学与技术专业委员会主任

三束材料改性国家重点实验室副主任。

研究领域

薄膜生长微观机制的原子水平上研究：主要研究低能粒子与表面的相互作用，在原子水平上揭示低能粒子所产生的薄膜表面微观过程的变化及其演化规律对表面原子的迁移和成核、薄膜生长的微观状态的影响。

功能薄膜材料及其微观状态和宏观性能研究：主要研究离子束辅助沉积、等离子体薄膜合成和离子束薄膜合成的实验方法、制备技术以及薄膜的微观状态和宏观性能。目前主要从事光通讯薄膜材料、ZnO薄膜的合成、结构表征及光电特性研究工作。

*承担的主要科研项目有：

1．掺杂ZnO的结构稳定性及其对薄膜光电特性的影响, 国家自然科学基金面上项目， 2008.01-2010.12，项目负责人

2. 掺杂ZnO结构稳定性及相关能带结构的基础科学问题, 973计划前期研究专项_2007CB616902, 2007.01-2008.12，项目负责人

3. ZnO基多层膜量子阱的量子限域效应及其对光电特性的影响, 辽宁省优秀人才计划项目, 2007.01-2009.12，项目负责人

4. 铀表面用离子束辅助沉积形成铝、钛薄膜及其动力学过程模拟研究，国家自然科学基金面上项目， 2005.01-2007.12，项目负责人

5．基于氧化物的功能薄膜合成及器件的应用基础研究， 国家自然科学基金国际合作，2003.01-2005.12，项目负责人

6．低能粒子对表面原子成核及薄膜生长的影响， 国家自然科学基金面上项目， 2001.01-2003.12，项目负责人

7．薄膜光子集成材料的合成工艺及光学特性， 国家自然科学基金面上项目，1999.01-2001.12，项目负责人

8．低气压等离子体功能薄膜合成的部分机理研究， 国家自然科学基金重点项目，1999.01-2002.12，子项目负责人

9．离子束辅助沉积膜的非微分AES研究， 国家自然科学基金青年项目，1992.01-1994.12，项目负责人

10．超高密度近场光存储， 科技部重大科技专项前期预研项目，2004.07-2006.06，主要参加者

11．原子水平上的载能束薄膜合成微观机制研究， 教育部科技重点项目，2000.01-2002.12，项目负责人

12．离子束合成光子集成器件材料的应用基础研究， 教育部骨干教师计划，2000.07-2002.06，项目负责人

著作论文

先后发表学术期刊论文100余篇，SCI收录50余篇，具有代表性的论文有：

16. C. W. Sun, P. Xin, C.Y. Ma, Z.W. Liu, Q. Y. Zhang, Y. Q. Wang, Z. J. Yin, S. Huang, and T. Chen Optical and electrical properties of CdxZn1-xO films grown on Si substrates by reactive radio-frequency magnetron sputtering, Appl. Phys. Lett. 89 (2006) 181923

15. C. W. Sun, P. Xin, Z. W. Liu, and Q. Y. Zhang, Room-temperature photoluminescence of ZnO/MgO multiple quantum wells on Si(001) substrates, Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 221914

14．Z. W. Liu, C. W. Sun, J. F. Gu, and Q. Y. Zhang, Epitaxial relationship of ZnO film with Si (001) substrate and its effect on the growth morphology, Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 251911

13. J. An，Q.Y. Zhang，Structure, morphology and nanoindentation behavior of multilayered TiN/TaN coatings，Surface & Coatings Technology 2005，200，2451 – 2458

12. Q.F.Guan, H.Zou, G.T.Zou, A.M.Wu, S.Z.Hao, J.X.Zou, Y.Qin, C dong, Q.Y.Zhang，Surface nanostructure and amorphous state of a low carbon steel induced by high-current electron beam，Surf. Coat. Technol. 2005，196，145-149

11. Duan Shuqing, Tan na and Zhang qingyu，Microstructure and photoluminescence of Er-doped SiOx films synthesized by ion beam assisted deposition，Chinese Physics 2005，14，615-619

10. Q.Y.Zhang, Y.P.Lee，Absorption and photoluminescence properties of Er-doped and Er/Yb codoped soda-silicate laser glasses，J, Appl. Phys.， 2004，96 ，4746

9. Q.Y. Zhang, W.J. Zhao, P.S. Wang , L. Wang, J.J. Xu, P.K. Chu，Microstructure, morphology and their annealing behaviors of alumina synthesized by ion beam assisted deposition，Nucl. Instr. Methods, 2003 B 206, 357-361

8. H.F. Lu, C. Zhang, Q.Y. Zhang，Adatom, vacancy and sputtering yields of low energy Pt atoms impacts on Pt(1 1 1) by molecular dynamics simulation，Nucl. Instr. Methods, 2003 B 206, 22-26

7. Q.Y. Zhang, W.J.Zhao, P.S.Wang, S.Gao, and L.Wang，Microstructures and properties of Er-doped Al2O3 thin films synthesized by ion beam assisted deposition，Surf. Coatings Technol. 158-159 (2002) 538-543

6. Q.Y. Zhang and P.K. Chu，The influence of pulsed beam deposition on the nucleation of thin film，Surf. Coatings Technol. 158-159 (2002) 247-252

5. Q.Y.Zhang, Z.Y.Pan and J.Y.Tang, The role of energetic atoms in the deposition of Au/Au (001) thin films---A computer simulation，Surf. Coatings Technol. 128-129 (2000) 175-180

4. Q.Y.Zhang, J.Y.Tang, G.Q.Zhao, Investigation of the energetic deposition of Au (001) thin films by molecular-dynamics simulation, Nucl. Instr. Meth. B135 (1998) 289-294

3. Q.Y.Zhang, X.X.Mei, D.Z.Yang, et al; Preparation, structure, and properties of TaN and TaC films obtained by ion beam assisted deposition，Nucl. Instr. Meth., B127/128 (1997) 664-668

2. Qing-yu Zhang; Quantitative determination of titanium nitride films by high energy resolution Auger electron spectroscopy，J. Vac. Sci. Technol., A13(1995)2384-2389

1. Q.Y.Zhang, B.Chen, et al;Investigation of TaN films implanted with nitrogen and argon ions,Surf. Coatings Technol. 66(1994)468-471