在一定条件下，不同相(或固体、或液体、或气体)物质间的物理化学反应，称异相反应。

薄膜的沉积生长就是通过固态生长表面与被其吸附的气相产物之间的异相反应来进行的。

薄膜的沉积方法可以分为两个不同的反应机构：化学气相沉积（Chemical vapor deposition, CVD）和物理气相沉积（Physical vapor deposition，PVD）。