简介

1.化学性质(特性)

2.物理性质

3.应用(4.包装，标志，贮运及安全)

简介

四氟化碳(Carbon tetrafluoride),分子式是CF4,亦称全氟化碳

1.化学性质(特性)

相对分子量88.00。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。

2.物理性质

熔点-183.6℃，

沸点-128.1℃，

液体密度（-130℃）1.613g/cm3，

液体折光率（-173℃）1.515，

固体转变点72.2K，

临界温度-45.67℃，

临界压力3.73MPa，

临界密度7.1dm3/mol，

标准摩尔生成焓-932.31 kJ/mol，

标准摩尔生成熵261.04J/（mol﹒K），

标准摩尔自由能-929.84 kJ/mol，

标准摩尔生成自由能-887.41 kJ/mol。

市场价格：

约260元/千克

3.应用

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。

在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。

4.包装，标志，贮运及安全

4.1 包装，标志及贮运

4.1.1 四氟化碳的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。

4.1.2 包装四氟化碳的气瓶应符合GB 5099，GB/T 11640 的规定。

4.1.3 推荐使用内表面处理的气瓶。推荐使用CGA350 钢阀。

4.1.4 应防止瓶口被污染和泄露。

4.1.5 四氟化碳的充装应符合GB14194的相关规定。

4.1.6 气瓶颜色标志应符合GB7144的规定。

4.1.7 运输时，四氟化碳气瓶上应负有GB 190 中制定的标志。

4.1.8 包装容器上应标明“电子四氟化碳”字样。

4.1.9 四氟化碳的充装量的质量计。

4.1.10四氟化碳出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：

---产品名称，生产厂名称

---生产日期或批号，充装质量（KG）

---保准号及技术指标，检验员号。

4.1.11 四氟化碳成品应存放在阴凉，干燥，通风的库房内，严禁曝晒，远离热源。