简介

国家标准

用途

规格

测量方法

简介

具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差.平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

国家标准

JJG28-2000 成都威博恩快速检验标准

用途

平行平晶是用于以干涉法测量块规，以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测 平晶

量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。

适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用，也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。

规格

1、平面平晶 YDF-1 标准外形尺寸 单位：mm

规格30 45 60 80 100 150 200 250

直径30 45 60 80 100 150 200 250

高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶

特殊规格尺寸平面平晶,环形平面平晶,方形平面平晶可定做.

2、平面平晶制成两种精度： 1级 和 2级

3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为：

直径为 30至60mm 1级平晶 0.03μm

直径为 30至60mm 2级平晶 0.1 μm

直径为 80至150mm 1级平晶 0.05μm

直径为 80至150mm 2级平晶 0.1 μm

更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值，根据国家标准。

4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为： 0.03μm

5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。

测量方法

平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法（图2）,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)

λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距。