| 词条 | 偏压电源 |
| 释义 | 一、定义：偏压电源（Bias power supply ）是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负（或正）偏压。 二、作用1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力 2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力 3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色 4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件 技术说明偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。 电源功率范围 10-80KW 输入电源 AC380V三相四线制AC50-60HZ±10% 输出方式 脉冲 输出电压 0-180V 0-500V 0-1000V 脉冲频率 40KHZ 脉冲百分比 10-90%连续调节 输出电压稳定率 预前稳压，负载电压10% 冷却方式 10-40KW风冷 40-80KW水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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